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定義
Z軸移動台用法蘭型滾針導柱組，是專為自動化設備（Factory Automation）中的Z軸升降平台所設計的高精度導引元件，可解決Z軸偏載引起的彎曲與定位誤差問題。
透過高剛性與高精度滾針導引系統，有效減少偏載下的彎曲與誤差，實現亞微米級定位，提升設備穩定性與運作效率。
應用產業
- 曝光裝置用精密 Z 軸平台：透過提高精度，實現了亞微米級的定位。
- 檢查裝置：高剛性、低振動的特性，可快速穩定相機，縮短生產週期。
- 探針用 Z 軸平台：透過提高導柱剛性，平台上作用有偏載時可減小彎曲。
結構
- 構成零件
- 導柱：硬度 60~62HRC
- 導套：硬度 60~62HRC
- 滾針襯套：滾針均勻分散壓力，有效延長產品使用壽命。
- 選配配件
- 固定擋塊
- 彈簧
優點
- 高剛性，線接觸的滾針剛性高達10倍以上。
- 直線度2倍以上。
- 滾針分散壓力，延長使用壽命。
- 振動低，實現低預壓。
- 高精度，重複精度3倍以上。
FA裝置用Z軸移動台
