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定義

電動精密滑台(Motorized Precision Stage)是一種利用馬達與控制系統驅動的平台,能實現高精度直線或旋轉運動。相較於手動滑台,電動滑台可透過程式化控制,達到自動化定位與重複操作,適用於需要 亞微米級精度與穩定運動 的產業。

結構

電動精密滑台的設計核心,在於導向、驅動與控制三大系統的協調運作。導向部分多採用滾珠導軌、交叉滾柱或空氣軸承,以確保平台在移動時能保持低摩擦與高直線度。驅動方式則依需求而異,常見的滾珠螺桿能兼具精度與剛性,皮帶機構則適合高速長行程,而線性馬達則提供近乎無延遲的直接驅動效果,能滿足亞微米級的精密定位。控制系統結合步進或伺服馬達與高解析度編碼器,透過閉迴路回授實現穩定而可重複的運動控制。最後,平台與底座的高剛性結構,不僅能承載不同形式的工件與光學模組,更確保在長時間、高頻次的運行下仍能維持最佳精度與穩定度。

應用產業

自動滑台以其精確控制與可靠性受到眾多領域青睞,主要應用於半導體製造、光學與顯微、精密測量、檢測設備、自動化生產線以及一般工業與製造業等多個領域。

優點

與傳統手動滑台相比,電動精密滑台最大的優勢在於能透過自動化控制大幅提升定位精度與作業效率。其高剛性的導軌結構與精密驅動設計,使平台能在重複操作中維持亞微米級的定位誤差,同時避免人為因素造成的偏差。透過程式化的運動控制,用戶可以實現批次化的高精度作業,顯著提升產能與產品一致性。除此之外,電動精密滑台還能依照不同產業需求提供多樣化結構選擇,例如直線、Z 軸或旋轉平台,並可靈活整合至自動化設備中,成為半導體製程、光學檢測或精密量測不可或缺的解決方案。

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電動精密滑台
電動對位滑台
電動線性滑台
電動Z滑台
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