FA 裝置用 Z 軸移動台：結構與應用

軸導柱 Z 適用於升降台的法蘭型滾針導柱組

漢德威的法蘭型滾針導柱組，專為 Z 軸升降平台設計。 導柱採用高精度滾針支撐結構，使其具備： 

• 高剛性：可有效抑制偏載與結構變形，維持穩定導引。
• 低振動：減少高速運動時的震動傳遞，提升定位穩定性。
• 高精度保持性：長時間運作下仍能維持精確的重複定位精度。
• 安裝便利的法蘭結構：縮短組裝時間，提升整機設計靈活度。

其設計不僅強化了導引性能，亦兼顧整體系統的動態穩定性與耐用性。 在高速作業環境中，依然能確保平滑升降與精確對位，滿足嚴苛的自動化應用需求。

檢查裝置

高剛性、低振動的特性，可快速穩定相機，縮短生產週期。

曝光裝置用精密 Z 軸平台

透過提高精度，實現了亞微米級的定位。

探針用 Z 軸平台

透過提高導柱剛性，平台上作用有偏載時可減小彎曲。