FA装置用Z轴移动台

Z轴移动台用法兰型滚针导柱组，是专为自动化设备（Factory Automation）中的Z轴升降平台所设计的高精度导引元件，可解决Z轴偏载引起的弯曲与定位误差问题。

透过高刚性与高精度滚针导引系统，有效减少偏载下的弯曲与误差，实现亚微米级定位，提升设备稳定性与运作效率。

1. 曝光装置用精密 Z 轴平台：透过提高精度，实现了亚微米级的定位。
2. 检查装置：高刚性、低振动的特性，可快速稳定相机，缩短生产周期。
3. 探针用 Z 轴平台：透过提高导柱刚性，平台上作用有偏载时可减小弯曲。

1. 构成零件
• 导柱：硬度 60~62HRC
• 导套：硬度 60~62HRC
• 滚针衬套：滚针均匀分散压力，有效延长产品使用寿命。
2. 选配配件
• 固定挡块
• 弹簧

1. 高刚性，线接触的滚针刚性高达10倍以上。
2. 直线度2倍以上。
3. 滚针分散压力，延长使用寿命。
4. 振动低，实现低预压。
5. 高精度，重复精度3倍以上。