产品列表
定义
Z轴移动台用法兰型滚针导柱组，是专为自动化设备（Factory Automation）中的Z轴升降平台所设计的高精度导引元件，可解决Z轴偏载引起的弯曲与定位误差问题。
透过高刚性与高精度滚针导引系统，有效减少偏载下的弯曲与误差，实现亚微米级定位，提升设备稳定性与运作效率。
应用产业
Z轴移动台用法兰型滚针导柱组，广泛应用于半导体产业、光电产业、精密电子制造业、自动化设备制造业、检测设备制造业。
优点
- 高刚性结构：线接触滚针设计，使刚性提升达10倍以上。
- 优异直线度：直线精度提升2倍以上，确保移动精确稳定。
- 压力分散设计：滚针均匀分散压力，有效延长产品使用寿命。
- 低振动设计：可迅速稳定设备运作，缩短整体作业时间。
FA装置用Z轴移动台
