FA 装置用 Z 轴移动台：结构与应用

轴导柱 Z 适用于升降台的法兰型滚针导柱组

汉德威的法兰型滚针导柱组，专为 Z 轴升降平台设计。 导柱采用高精度滚针支撑结构，使其具备： 

• 高刚性：可有效抑制偏载与结构变形，维持稳定导引。
• 低振动：减少高速运动时的震动传递，提升定位稳定性。
• 高精度保持性：长时间运作下仍能维持精确的重复定位精度。
• 安装便利的法兰结构：缩短组装时间，提升整机设计灵活度。

其设计不仅强化了导引性能，亦兼顾整体系统的动态稳定性与耐用性。 在高速作业环境中，依然能确保平滑升降与精确对位，满足严苛的自动化应用需求。

检查装置

高刚性、低振动的特性，可快速稳定相机，缩短生产周期。

曝光装置用精密 Z 轴平台

透过提高精度，实现了亚微米级的定位。

探针用 Z 轴平台

透过提高导柱刚性，平台上作用有偏载时可减小弯曲。